جدید ویفر پالش مشین کے کلیدی اجزاء

تعارف

سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے انتہائی عین مطابق اور پیچیدہ شعبے میں ،کیمیائی مکینیکل پالش (سی ایم پی)جدید الیکٹرانکس کے لئے درکار بے عیب ، جوہری طور پر ہموار سطحوں کو بنانے کے لئے ایک ناگزیر ٹیکنالوجی ہے۔ اکثر کیمیائی مکینیکل پلانرائزیشن کے طور پر جانا جاتا ہے ، یہ عمل سلیکن ویفر تانے بانے کا حتمی ، اہم اقدام ہے ، جس سے یہ یقینی بناتا ہے کہ ویفرز موٹائی ، چاپلوسی اور سطح کی نرمی کے لئے سخت ضروریات کو پورا کریں۔ نفیس مشینری جو اس کام کو انجام دیتی ہے وہ کئی اہم سب سسٹم کو مربوط کرتی ہے ، ہر ایک کو حاصل کرنے میں اہم کردار ادا کرتا ہےنانوسکل کمال. اس مضمون میں عصری ویفر پالش مشین کے بنیادی اجزاء اور ان کے ہم آہنگی کے افعال کی کھوج کی گئی ہے۔

1. پالش کرنے والا سر: صحت سے متعلق ورک ہولڈنگ

پالش کرنے والا سرپورے عمل کے دوران سلیکن ویفر کو محفوظ طریقے سے رکھنے کے لئے ذمہ دار ایک تنقیدی انجنیئر جزو ہے۔ یہ محض گرفت سے زیادہ کام کرتا ہے۔ یہ ایک خاص طور پر کنٹرول شدہ ، یہاں تک کہ دباؤ کا اطلاق کرتا ہے ، جس سے ویفر چہرے کو دبانے والے چہرے - کو ایک اعلی - تیز رفتار گھومنے والی پالش پیڈ کے خلاف دبائیں۔ پوری ویفر سطح پر یہ یکساں دباؤ مستقل مادی ہٹانے کو یقینی بنانے اور مقامی طور پر آنے سے گریز کرنے کے مترادف ہے

• یا - پالش کے تحت ، جو مائکرو پروسیسرز اور میموری چپس جیسے اعلی - اختتامی ایپلی کیشنز کے لئے ویفر کو بیکار بنا سکتا ہے۔

2. پالش پیڈ: رگڑنے کا انٹرفیس

پالش کرنے والے سر کے ساتھ مل کر کام کرنا ہےپالش پیڈ، ایک قابل استعمال جزو جس کی خصوصیات حتمی نتائج پر بہت زیادہ اثر انداز ہوتی ہیں۔ عام طور پر غیر محفوظ پولیمرک مواد سے بنا ، پیڈ کی سطح ، اس کے ساتھمائکرو فائبر اور چھوٹے ذرات، دباؤ کے تحت ویفر سطح کے ساتھ ضروری رگڑ پیدا کرتا ہے۔ یہ مکینیکل تعامل ، کیمیکلز کی مدد سے ، منظم طریقے سے مواد کو ہٹا دیتا ہے۔ پیڈ تیز رفتار سے گھومتا ہے اور اس کی ساخت اور لچک کو برقرار رکھنے کے ل ph پالش چکر میں اس کی ساخت اور لچک کو برقرار رکھنا چاہئے تاکہ ویفر کی سطح کو مطلوبہ آسانی سے موثر انداز میں پیس لیا جاسکے۔

3. ایس ایل سلوری کی ترسیل کا نظام: کیمیائی ایجنٹ

شاید سی ایم پی کا سب سے متعین پہلو یہ ہےگندگی، ایک خاص طور پر تیار کردہ مرکب جو مکینیکل پالش کرنے کے لئے "کیمیائی" عنصر کو متعارف کراتا ہے۔ یہ گندگی ایک کے ذریعے پالش کرنے والے پیڈ پر ڈسپینس کی جاتی ہےترسیل کا نظامجو مستقل اور یکساں بہاؤ کو یقینی بناتا ہے۔ گندگی خود ایک پیچیدہ تشکیل ہے جس پر مشتمل ہے:

کھرچنے والے ذرات:سلیکا یا ایلومینا جیسے مواد جو میکانکی طور پر سطح کو گھٹا دیتے ہیں۔

آکسائڈائزنگ ایجنٹوں:کیمیکل جو ویفر سطح (جیسے ، سلیکن) کے ساتھ رد عمل کا اظہار کرتے ہیں تاکہ اسے ایک نرم آکسائڈ پرت میں تبدیل کیا جاسکے ، جس سے اسے دور کرنا آسان ہوجاتا ہے۔

چیلٹنگ ایجنٹوں:مرکبات جو - مصنوعات کے ذریعہ رد عمل کے ساتھ پابند ہیں ، انہیں تازہ پالش ویفر سطح پر ریپپوزیشن یا جمع کو روکنے کے لئے گندگی میں گھل جاتے ہیں۔

گندگی سے کیمیائی سنکنرن اور پیڈ سے مکینیکل رگڑ کے مابین ہم آہنگی سطح کی کھردری کے حصول کو جتنی کم ہے0.1 این ایم را، جو ملٹی - پرتوں والے مربوط سرکٹس میں بعد کی مادی پرتوں کے جمع کرنے کے لئے ضروری ہے۔

4. کیریئر اور کنڈیشنگ سسٹم

عمل میں مستقل مزاجی کو برقرار رکھنے کے لئے ایک ویفر سے اگلے اور پیڈ کی زندگی میں ، معاون نظام ضروری ہیں۔ویفر کیریئرپالش کے دوران محفوظ طریقے سے ویفر کو تھامے۔ اضافی طور پر ، aپیڈ کنڈیشنراکثر بیک وقت استعمال ہوتا ہے۔ یہ جزو اصلی - وقت میں پالش کرنے والے پیڈ کی سطح کو خراب کرتا ہے ، اور اسے - مصنوعات کے ذریعہ گلیزڈ اور سیر ہونے سے روکتا ہے ، اس طرح مستحکم پالش کی شرح اور ختم معیار کو یقینی بناتا ہے۔

5. صفائی کا ماڈیول: طہارت کو یقینی بنانا

ایک بار جب پلانرائزیشن کا عمل مکمل ہوجائے تو ، ویفر سطح پر کسی بھی بقایا گندگی یا خوردبین ذرات پالش کے مقصد کو شکست دے دیں گے۔ لہذا ، ایک مربوطصفائی ماڈیولجدید مشینوں کا ایک معیاری کلیدی جزو ہے۔ یہ ماڈیول سب کو ہٹانے کے لئے پالش کرنے کے فورا بعد ہی ویفر کو اچھی طرح صاف کرتا ہےنقائص یا آلودگی. یہ اقدام آلودگیوں کو حتمی سیمیکمڈکٹر ڈیوائسز سیمیکمڈکٹر آلات کی کارکردگی اور وشوسنییتا سے سمجھوتہ کرنے سے روکنے کے لئے بہت ضروری ہے۔

نتیجہ

جدید ویفر پالش مشین انجینئرنگ صحت سے متعلق ایک حیرت انگیز ہے ، جہاں کیمسٹری اور میکانکس ایک دوسرے کے ساتھ ملتے ہیں۔ اس کے کلیدی اجزاء - پالش کرنے والا سر ، پیڈ ، گندگی کا نظام ، کیریئر ، اور کلینر - کسی حد تک الٹراسموت ، عیب- مفت سبسٹریٹ میں کسی نہ کسی طرح کی آواز کو تبدیل کرنے کے لئے کامل ہم آہنگی میں کام کرتا ہے۔ چونکہ چھوٹے ، تیز تر اور زیادہ طاقتور سیمیکمڈکٹرز کی مانگ میں اضافہ ہوتا جارہا ہے ، اور اس سے بھی زیادہ منصوبہ بندی کی ضرورت کو آگے بڑھاتے ہوئے ، ان اجزاء کا مسلسل ارتقا سیمیکمڈکٹر ٹکنالوجی کو آگے بڑھانے کے دل میں رہے گا۔